[发明专利]一种双片制绒分片机在审

专利信息
申请号: 201811634901.0 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN109638112A 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 宁佐强;何鹏;莫计亨 申请(专利权)人: 无锡尚品高自动化设备有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0236;H01L21/67;C30B33/08
代理公司: 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 代理人: 吴肖敏
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种双片制绒分片机,将黑硅制绒主线出来的双片花篮人工放到左上料平台机构、右上料平台机构上。固定花篮位置后,侧吸盘机构开始工作,吸取花篮所对应槽一边的硅片,分片吸盘机构经六轴机器人带动吸取花篮的另一片硅片,分片吸盘机构吸取硅片后经六轴机器人带走,把吸取的硅片存放到硅片存放盒机构上。缓存整位机构开始工作,带动硅片存放盒机构里面的硅片下降到硅片皮带输送线机构上,再导入到自动换篮机构里面的花篮里,固定好花篮后花篮切换模组开始装片。花篮装满硅片后,花篮切换模组带动装满硅片的满花篮运行到下层满花篮出篮输送线机构对接处,换篮花篮输送线机构把满花篮输送到下层满花篮出篮输送线机构上。
搜索关键词: 花篮 硅片 吸盘机构 输送线 双片 制绒 六轴机器人 存放盒 分片机 模组 下层 装满 皮带输送线 缓存 平台机构 上料平台 对接处 黑硅 装片 主线
【主权项】:
1.一种双片制绒分片机,其特征在于,包括机架(1)、左上料平台机构(2)、右上料平台机构(3)、侧吸盘机构(4)、分片吸盘机构(5)、下料缓存机构(6)、缓存整位机构(7)、硅片皮带输送线机构(8)、自动换篮机构(9)和花篮输送线机构(10);所述左上料平台机构(2)和右上料平台机构(3)各设置有可前后移动的模组机构A(11),模组机构A11安装在具有3度倾角的台面板(12)上;模组机构A(10)上安装滑动底板(13),滑动底板(13)上安装前花篮放置治具托板(14)和后花篮放置治具托板(15),滑动底板(13)上安装有花篮定位机构(16);所述侧吸盘机构(4)包括吸盘机构(41)、X轴模组机构(42)及Y轴模组机构(43),吸盘机构(41)上安装六十片吸盘A(44)和六十片隔片A(45),六十片吸盘A(44)和六十片隔片A(45)安装在吸盘固定机构A(46)上;吸盘固定机构(46)安装固定在Y轴模组机构(43)上,Y轴模组机构(43)安装固定在X轴模组机构(42)上,X轴模组机构(42)安装固定在有3度倾角的台面板(12)上;所述分片吸盘机构(5)安装六十片吸盘B(51)和六十片隔片B(52),六十片吸盘B(51)和六十片隔片B(52)安装在吸盘固定机构B(53)上,分片吸盘机构(5)安装在六轴机器人(17)上;所述下料缓存机构(6)包括模组机构上设置有可上下移动的模组机构B1(8),硅片存放盒机构(19)安装在模组机构B1(8)上,缓存整位机构(7)安装在硅片存放盒机构(19)一侧;模组机构B1(8)连接至硅片皮带输送线机构(8),硅片皮带输送线机构(8)包括A段硅片皮带输送线机构(81)和B段硅片皮带输送线机构(82);所述自动换篮机构(9)上设置有花篮切换模组(91),换篮花篮输送线机构(92)安装在花篮切换模组(91)上,换篮花篮输送线机构(92)上装有花篮整位机构(93)和压篮机构(94);所述花篮输送线机构(10)上设置有上层空花篮进篮输送线机构(101)和下层满花篮出篮输送线机构(102),下层满花篮出篮输送线机构(102)上设有动力电机(103)、输送同步带(104)、输送基座(105);所述动力电机(103)安装在输送基座(105)下方,输送基座(105)上安装输送同步带(104)。
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