[发明专利]交换版机械手移入移出装置有效
| 申请号： | 201811643740.1 | 申请日： | 2018-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111376313B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 李洋;郑锋标;郝凤龙;庞飞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种交换版机械手移入移出装置，包括：底座、定位销、水平导轨、垂直导轨、转臂、转轴和传动机构，底座上安装交换版机械手；定位销设置在底座上与掩模台分系统的承载框架可拆卸连接；水平导轨与承载框架固定连接，水平导轨上滑动设置有第一滑块；垂直导轨与水平导轨垂直设置，其上滑动设置有第二滑块；转臂分别与第一滑块和第二滑块连接；转轴与垂直导轨固定连接，转轴两端设置有上轴端和下轴端，转轴通过上轴端和下轴端与底座连接；传动机构用于在驱动力作用下带动垂直导轨和转轴沿竖直方向上下移动。上述的交换版机械手移入移出装置能够提高掩模台分系统和交换版机械手的维修维护效率，有利于提高光刻设备的产率。 | ||
| 搜索关键词： | 交换 机械手 移入 移出 装置 | ||
【主权项】：
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