[发明专利]一种扫描式基片表面检测方法和装置在审
| 申请号： | 201811643903.6 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109490148A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 李文涛;陈子天;李晓龙 | 申请（专利权）人： | 赛纳生物科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01N13/00 | 分类号： | G01N13/00;G01B13/22 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 肖佳 |
| 地址： | 100744 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种扫描式基片表面检测方法和装置，利用液滴在基片表面的运动检测基片的均匀性，方法设备简单，不对基片表面造成损伤，适合于核心区域的定点检测以及常规检测。在检测的过程中，基片倾斜一定的角度，液滴在基片的表面并不主动滑落，用牵引装置牵引液滴运动。运动的过程中，经过需要检测的区域，通过液滴的形态变化判断基片表面的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 基片表面 检测 液滴 方法和装置 均匀性 扫描式 常规检测 核心区域 牵引装置 形态变化 运动检测 牵引液 滑落 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种扫描式基片表面检测方法,其特征在于,基片倾斜，在基片的表面加第一液体液滴；将牵引装置和第一液体接触，以牵引装置引导第一液体运动；通过第一液体液滴运动的状态检测基片表面的均匀性；其中，所述第一液体液滴在重力的作用下不主动滑落；所述第一液体液滴在牵引装置的作用下运动。
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