[发明专利]一种DTSCR器件在审

专利信息
申请号: 201811646024.9 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN109904215A 公开(公告)日: 2019-06-18
发明(设计)人: 王源;张立忠 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L27/02
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王莹;吴欢燕
地址: 100871*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明实施例提供了一种DTSCR器件,包括:P型衬底,所述P型衬底上从左至右依次设置有预设P+掺杂区、预设N+掺杂区以及多个N阱区,所述多个N阱区中的所有N阱区从左至右依次连接;所述预设N+掺杂区的部分区域构成预设N阱区;其中,所述预设P+掺杂区和所述预设N+掺杂区均为源区。本发明实施例提供的一种DTSCR器件,将预设N+掺杂区的部分区域构成预设N阱区,实现了抑制DTSCR的二次触发现象,满足ESD设计要求。而且,还可以通过DTSCR器件中的二极管的数量实现对DTSCR整体触发电压的精确调节,从而满足不同的ESD设计需求。
搜索关键词: 预设 掺杂区 衬底 二极管 触发电压 依次连接 依次设置 触发 源区
【主权项】:
1.一种DTSCR器件,其特征在于,包括:P型衬底,所述P型衬底上从左至右依次设置有预设P+掺杂区、预设N+掺杂区以及多个N阱区,所述多个N阱区中的所有N阱区从左至右依次连接;所述预设N+掺杂区的部分区域构成预设N阱区;其中,所述预设P+掺杂区和所述预设N+掺杂区均为源区。
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