[实用新型]一种硅片插片用硅片缓冲装置有效
| 申请号： | 201820010492.6 | 申请日： | 2018-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN207719228U | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 张志康;吴洋洋;丁贵英 | 申请（专利权）人： | 江西宝群电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/683;H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 330000 江西省南昌*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片插片用硅片缓冲装置。在以前的插片过程中，没有硅片缓冲装置，使得硅片插入片篮时容易和片篮的内壁碰触，造成崩片、划片等情况，给硅片造成不可恢复的损害，大大降低了硅片的合格率，造成时间和财产的损失。本实用新型涉及一种硅片插片用硅片缓冲装置，其中：插片机机架上一侧安装有硅片输送带，硅片输送带一侧设有提升模组，提升模组固定于插片机机架上，提升模组由升降电机、丝杆传动模组、提升平台组成。本装置采用增加硅片缓冲装置的方式，使硅片插进片篮中先与缓冲装置中的橡胶垫接触，橡胶垫能很好的吸收硅片插入片篮时的动能，有效的保护了硅片，提高了硅片的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 缓冲装置 插片 提升模 本实用新型 硅片输送带 插片机 插入片 橡胶垫 合格率 不可恢复 升降电机 丝杆传动 提升平台 动能 划片 进片 模组 内壁 碰触 损害 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种硅片插片用硅片缓冲装置，包括插片机机架（1）、硅片输送带（2）、提升模组（3）、升降电机（301）、丝杆传动模组（302）、提升平台（303）、片篮（4）、硅片缓冲模组（5）；其特征在于：插片机机架（1）上一侧安装有硅片输送带（2），硅片输送带（2）一侧设有提升模组（3），提升模组（3）固定于插片机机架（1）上，提升模组（3）由升降电机（301）、丝杆传动模组（302）、提升平台（303）组成，升降电机（301）与丝杆传动模组（302）同轴连接，丝杆传动模组（302）与提升平台（303）连接，片篮（4）固定于提升平台（303）上，提升模组（3）一侧设有硅片缓冲模组（5），硅片缓冲模组（5）安装于插片机机架（1）上。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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