[实用新型]一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，包括装料站，所述装料站的正面设置有操作板，所述装料站的侧面设置有抽排系统，所述抽排系统的侧面设置有水平式炉体，所述水平式炉体的顶部设置有气柜，所述水平式炉体的内部设置有气体系统，所述气体系统包括第一进气管，所述第一进气管的侧面设置有截止阀，所述截止阀的侧面设置有单向阀，所述第一进气管的一端设有分支。该实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，通过设置了完善的气体管道利用热氧氢作为钝化的材料，具有退火、吸杂及阻挡杂质向硅片内部扩散的作用。可有效降低Si表面的界面态密度,降低结区复合,提高开路电压,有利于电流的收集,提升转换效率并能减少能源消耗。

主权项

1.一种实现PERC电池热氧钝化的管式镀膜装置，包括装料站(1)，所述装料站(1)的正面设置有操作板(2)，所述装料站(1)的侧面设置有抽排系统(3)，所述抽排系统(3)的侧面设置有水平式炉体(4)，所述水平式炉体(4)的顶部设置有气柜(5)，其特征在于：所述水平式炉体(4)的内部设置有气体系统(6)，所述气体系统(6)包括第一进气管(7)，所述第一进气管(7)的侧面设置有截止阀(8)，所述截止阀(8)的侧面设置有单向阀(9)，所述第一进气管(7)的一端设有分支(10)，所述分支(10)的数量为两个，两个所述分支(10)上设置有质量流量计(11)和配量阀(12)，所述第一进气管(7)远离单向阀(9)的一端安装有气动双阀组箱(13)，所述第一进气管(7)与第二进气管(14)连通，所述第二进气管(14)与上安装有质量流量计(11)，所述质量流量计(11)的两侧分别安装有气动双阀组箱(13)，所述第二进气管(14)远离第一进气管(7)的一端连通有第三进气管(15)，所述第三进气管(15)上安装有气动阀(16)，所述气动阀(16)的侧面安装有质量流量计(11)。