[实用新型]一种气体供应系统

摘要

本实用新型公开了一种气体供应系统，包括第一工作管路，第一工作管路的一端设置第一吹扫气体入口，第一工作管路上依次设置有第一阀体、第二阀体、第三阀体、第四阀体，第一过滤器和第一供气阀，第一工作管路外侧依次设置有第一旁通管路、第二旁通管路和第三旁通管路，第一旁通管路、第二旁通管路与第一工作管路的连接端分别位于第二阀体和第三阀体之间，第一旁通管路连接第一钢瓶，第二旁通管路上设置第五阀体，第三旁通管路上依次设置第六阀体和第七阀体，第二旁通管路、第三旁通管路的汇合处设置有第八阀体，第八阀体连接吹扫气体出口。本实用新型气体供应系统设置真空排放管路，使得吹扫气体出口位置处于负压状态，保证工作管路的洁净。

主权项

1.一种气体供应系统，其特征在于，包括第一工作管路（1），所述第一工作管路（1）的一端设置第一吹扫气体入口（2），所述第一工作管路（1）上依次设置有第一阀体（3）、第二阀体（4）、第三阀体（5）、第四阀体（6），第一过滤器（23）和第一供气阀（24），所述第一工作管路（1）外侧依次设置有第一旁通管路（7）、第二旁通管路（8）和第三旁通管路（9），所述第一旁通管路（7）、第二旁通管路（8）与第一工作管路（1）的连接端分别位于第二阀体（4）和第三阀体（5）之间，所述第一旁通管路（7）连接第一钢瓶（10），所述第二旁通管路（8）上设置第五阀体（11），所述第三旁通管路（9）上依次设置第六阀体（12）和第七阀体（13），所述第二旁通管路（8）、第三旁通管路（9）的汇合处设置有第八阀体（14），所述第八阀体（14）连接吹扫气体出口（18）。