[实用新型]准分子激光用波长检测装置有效
| 申请号： | 201820029852.7 | 申请日： | 2018-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN207751598U | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 山崎卓;仏师田了 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种准分子激光用波长检测装置，包括：密闭的壳体，其内部收容有校准具；加热器，其配置在所述壳体的外壁上，对所述壳体内部的温度进行调节；其中所述加热器覆盖所述壳体的外壁的至少三个面；温度传感器，其对所述壳体内部的温度进行测量；以及温度控制器，其根据所述温度传感器测量出的温度，对所述加热器进行控制。由此，加热器能够从壳体的周围对壳体均匀地加热，减少或避免壳体内部的温度不稳定的情况，从而保持或提高壳体内部的校准具的测量精度，减少或避免测量值出现误差的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 壳体内部 壳体 波长检测装置 准分子激光 测量 校准 外壁 温度传感器测量 本实用新型 温度传感器 温度控制器 密闭 对壳 加热 收容 覆盖 配置 | ||
【主权项】：
1.一种准分子激光用波长检测装置，其特征在于，所述准分子激光用波长检测装置包括：密闭的壳体，其内部收容有校准具；加热器，其配置在所述壳体的外壁上，对所述壳体内部的温度进行调节；其中所述加热器覆盖所述壳体的外壁的至少三个面；温度传感器，其对所述壳体内部的温度进行测量；以及温度控制器，其根据所述温度传感器测量出的温度，对所述加热器进行控制。
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