[实用新型]一种晶圆返工清洗装置

摘要

本实用新型提供一种晶圆返工清洗装置，具体涉及晶圆生产领域，包括电机、联轴器和沿水平面方向设置的底盘，电机的驱动轴通过联轴器与底盘相接，底盘上方设有与底盘活动连接的化学试剂存储槽；化学试剂存储槽的两端向外侧设有凸延，底盘表面设有若干与化学试剂存储槽的轮廓相匹配的限位槽，且限位槽的中心点在同一竖直方向上，化学试剂存储槽的底端嵌入限位槽内；化学试剂存储槽底部设有与化学试剂存储槽活动连接的晶圆料篮，晶圆料篮的外围为镂空状；晶圆料篮两端向外侧设有凸延，化学试剂存储槽底部也设有与晶圆料篮的轮廓相匹配的限位槽，晶圆料篮的底端嵌入限位槽内。本实用新型可方便清洗不合格晶圆，以确保生产的顺利进行。

主权项

1.一种晶圆返工清洗装置，其特征在于：包括电机、联轴器和沿水平面方向设置的底盘，所述电机的驱动轴通过所述联轴器与所述底盘相接，所述底盘上方设有与所述底盘活动连接的化学试剂存储槽；所述化学试剂存储槽的两端向外侧设有凸延，所述底盘表面设有若干与所述化学试剂存储槽的轮廓相匹配的限位槽，且所述限位槽的中心点在同一竖直方向上，所述化学试剂存储槽的底端嵌入所述限位槽内；所述化学试剂存储槽底部设有与所述化学试剂存储槽活动连接的晶圆料篮，所述晶圆料篮的外围为镂空状；所述晶圆料篮两端向外侧设有凸延，所述化学试剂存储槽底部也设有与所述晶圆料篮的轮廓相匹配的限位槽，所述晶圆料篮的底端嵌入所述限位槽内。