[实用新型]一种晶片自动清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种晶片自动清洗装置，属于机械领域，包括超声波机箱和清洗池，超声波机箱内设置有超声波发生器和超声波换能器，超声波机箱上还设置有控制面板，清洗池内设置有清洗框，清洗池的两侧壁上还相对设有一对轴承座，清洗框的两侧壁上相对设置有一对固定有连接轴的连接耳，连接耳与轴承座通过连接轴可转动连接；清洗池的外侧还设置有一个伺服电机，伺服电机的动力输出端与其中一个连接轴通过联轴器固定连接；本装置还包括4个晶片盛放篮，4个晶片盛放篮呈田字形放置在清洗框内。本实用新型具有结构简单、工作效率高、晶片不易损坏、清洗方便、清洗干净的特点，大大提高了工人的工作效率，并且还能对晶片表面进行高效的清洗。

主权项

1.一种晶片自动清洗装置，包括超声波机箱和清洗池，所述超声波机箱与所述清洗池固定连接，所述超声波机箱内设置有超声波发生器和超声波换能器，所述超声波发生器与所述超声波换能器连接，所述超声波机箱上还设置有控制面板，所述超声波发生器与超声波换能器与所述控制面板电连接；所述清洗池内设置有清洗框，其特征在于，所述清洗池的两侧壁上还相对设有一对轴承座，所述清洗框的两侧壁上相对设置有一对固定有连接轴的连接耳，所述连接耳与所述轴承座通过所述连接轴可转动连接；所述清洗池的外侧还设置有一个伺服电机，所述伺服电机与超声波机箱分别位于所述清洗池的两侧，并且所述伺服电机的动力输出端与其中一个连接轴通过联轴器固定连接；所述晶片自动清洗装置还包括4个晶片盛放篮，4个所述晶片盛放篮呈田字形放置在所述清洗框内。