[实用新型]一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置有效
| 申请号： | 201820128772.7 | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN208293074U | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 白雨成;全义九;李相文;张昌泳;丁钟国;边娜恩 | 申请（专利权）人： | 株式会社SELCOS;胜显（上海）商贸有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 庄文莉 |
| 地址： | 韩国京畿道华城*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置，包括角度夹具、盖子以及固定部件，其中：所述角度夹具具有特定的倾向性，折弯成任意角度并形成相对的2个面，所述的2个面上分别具有用于放置被溅镀物的夹具槽；所述盖子盖住所述夹具槽，用于开关所述夹具槽，不让所述被溅镀物的上端暴露在溅镀环境中；所述固定部件设置于所述角度夹具上端，使所述盖子吸附并固定在角度夹具上。本实用新型不仅能在被溅镀物的表面上一次形成均匀薄膜，还能利用为具有特定倾向性而折弯成任意角度的2个相对的面的夹具，形成具有特定倾向的薄膜。本实用新型能够使被溅镀物的电极部分免被溅镀物涂布，无需在被溅镀物上另设罩子。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀 夹具 角度夹具 本实用新型 夹具槽 盖子 固定部件 溅镀装置 上端 折弯 倾向性 均匀薄膜 罩子 电极 吸附 薄膜 暴露 | ||
【主权项】：
1.一种溅镀夹具，其特征在于，包括角度夹具、盖子以及固定部件，其中：所述角度夹具具有特定的倾向性，折弯成任意角度并形成相对的2个面，所述的2个面上分别具有用于放置被溅镀物的夹具槽；所述盖子盖住所述夹具槽，用于开关所述夹具槽，不让所述被溅镀物的上端暴露在溅镀环境中；所述固定部件设置于所述角度夹具上端，使所述盖子吸附并固定在角度夹具上。
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