[实用新型]电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件有效
| 申请号： | 201820170740.3 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN207933521U | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 张星 | 申请（专利权）人： | 深圳德诚达光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜机技术领域。所提供的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件，包括基板；安装在所述基板上的电极；安装在所述基板上并分别位于所述电极的两侧的偏转磁极；安装在所述基板上并由程序控制旋转的转台；安装在所述转台上的圆形状的镀膜坩埚，所述镀膜坩埚上面、靠近边缘、围绕圆心均匀开设有多个凹槽；用以盛放镀膜药剂的多个衬套分别放置于所述镀膜坩埚的凹槽内。本实用新型的目的在于提供的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件可以同时满足大批量以及多膜层镀膜作业的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发真空 蒸发组件 镀膜机 基板 镀膜坩埚 本实用新型 电极 磁极 偏转 真空镀膜机 圆心 程序控制 镀膜作业 均匀开设 转台 多膜层 圆形状 衬套 镀膜 盛放 | ||
【主权项】：
1.电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件，其特征在于，包括基板(1)；安装在所述基板(1)上的电极(2)；安装在所述基板(1)上并分别位于所述电极(2)的两侧的偏转磁极(3)；安装在所述基板(1)上并由程序控制旋转的转台(4)；安装在所述转台(4)上的圆形状的镀膜坩埚(5)，所述镀膜坩埚(5)上面、靠近边缘、围绕圆心均匀开设有多个凹槽(51)；用以盛放镀膜药剂的多个衬套(6)分别放置于所述镀膜坩埚(5)的凹槽(51)内。
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