[实用新型]电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件有效
申请号: | 201820171682.6 | 申请日: | 2018-01-31 |
公开(公告)号: | CN207933520U | 公开(公告)日: | 2018-10-02 |
发明(设计)人: | 张星 | 申请(专利权)人: | 深圳德诚达光电材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市光*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空镀膜机技术领域。所提供的电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件,包括基座,分别直立间隔安装在所述基座上的正极电极针、负极电极针,分别安装在所述正极电极针、所述负极电极针的上端的第一夹块、第二夹块,两端安装分别在所述第一夹块、所述第二夹块的放置板,放置在所述放置板中的槽口的蒸发舟;所述蒸发舟包括槽身以及由所述槽身两端水平延展的翼片,所述槽身坐落于所述放置板的槽口,所述翼片架设于所述放置板上;所述蒸发舟的槽身的长4‑5cm,宽2‑3cm,深1‑2cm。本实用新型提供的电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件,适用于大批量镀膜作业;同时可重复使用,避免资源浪费。 | ||
搜索关键词: | 放置板 槽身 夹块 蒸发真空 蒸发组件 镀膜机 蒸发舟 电阻 本实用新型 负极电极 正极电极 槽口 翼片 真空镀膜机 镀膜作业 间隔安装 两端水平 可重复 上端 直立 延展 架设 | ||
【主权项】:
1.电阻蒸发真空镀膜机的蒸发组件,其特征在于,包括基座(1),分别直立间隔安装在所述基座(1)上的正极电极针(21)、负极电极针(22),分别安装在所述正极电极针(21)、所述负极电极针(22)的上端的第一夹块(31)、第二夹块(32),两端安装分别在所述第一夹块(31)、所述第二夹块(32)的放置板(4),放置在所述放置板(4)中的槽口(41)的蒸发舟(5);所述蒸发舟(5)包括槽身(51)以及由所述槽身(51)两端水平延展的翼片(52),所述槽身(51)坐落于所述放置板(4)的槽口(41),所述翼片(52)架设于所述放置板(4)上;所述蒸发舟(5)的槽身(51)的长4‑5cm,宽2‑3cm,深1‑2cm。
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