[实用新型]一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉

摘要

一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉，包括圆柱体形的主炉体，主炉体上、下方分别设置有炉盖和炉底，炉盖设置有排气口，炉底设置有进气口，进气口一侧设置有用于加热主炉体内腔的加热电极组件；主炉体、炉盖、炉底的壁体内分别设置有可以注水散热的第一空腔层、第二空腔层、第三空腔层，主炉体、炉盖上均设置有进水口，炉底设置有出水口；炉盖中央贯穿设置有竖向的搅拌器，搅拌器包括芯轴，芯轴外设置有套轴，芯轴与套轴之间设置有可以注水散热的管状空腔，套轴下端设置有端板，搅拌器与炉盖之间设置有密封结构。本实用新型在炉壁内设置空腔层来注水散热，具有良好的隔热效果，采用可拆卸式辅炉体来增加炉子的适用范围，实用性强，生产效率高。

主权项

1.一种用于氮化硼制品生产的气相沉积炉，包括圆柱体形的主炉体，所述主炉体上、下方分别设置有炉盖和炉底，其特征在于：所述主炉体与所述炉底可拆卸式设置，所述炉盖设置有排气口，所述炉底设置有进气口，所述进气口一侧设置有用于加热所述主炉体内腔的加热电极组件；所述主炉体、炉盖、炉底的壁体内分别设置有可以注水散热的第一空腔层、第二空腔层、第三空腔层，所述第一空腔层、第二空腔层、第三空腔层连通设置，所述主炉体、炉盖上均设置有进水口，所述炉底设置有出水口；所述炉盖中央贯穿设置有竖向的搅拌器，所述搅拌器包括芯轴，所述芯轴外设置有套轴，所述芯轴与所述套轴之间设置有可以注水散热的管状空腔，所述套轴下端设置有端板，所述搅拌器与所述炉盖之间设置有密封结构。