[实用新型]抗蚀剂层的薄膜化装置有效
| 申请号： | 201820185391.2 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN207833216U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 丰田裕二;后闲宽彦 | 申请（专利权）人： | 三菱制纸株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;刘林华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种抗蚀剂层的薄膜化装置，前述抗蚀剂层的薄膜化装置在用于使形成有抗蚀剂层的基板的抗蚀剂层薄膜化而使用的抗蚀剂层的薄膜化装置中，能够解决薄膜化处理液向浸渍槽的上游侧逆流、抗蚀剂层的薄膜化量不均匀的问题。在具备薄膜化处理单元的抗蚀剂层的薄膜化装置中，薄膜化处理单元具有装有薄膜化处理液的浸渍槽，借助对浸渍槽的入口辊对的上侧辊施加载荷的载荷机构，防止薄膜化处理液向上游侧的逆流。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂层 薄膜化处理 薄膜化装置 浸渍槽 薄膜化 逆流 施加载荷 载荷机构 上游 不均匀 入口辊 侧辊 基板 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂层的薄膜化装置，前述抗蚀剂层的薄膜化装置具备薄膜化处理单元，其特征在于，前述薄膜化处理单元具有浸渍槽，前述浸渍槽装有薄膜化处理液，前述浸渍槽具有薄膜化处理液逆流防止机构。
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