[实用新型]一种薄膜体声波谐振器有效
| 申请号： | 201820198355.X | 申请日： | 2018-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN207869079U | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 廖珮淳 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种薄膜体声波谐振器，包括从下到上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，其中基底与底电极之间设有反射界面，底电极、压电层和顶电极中，至少有一层的形状与其它层不同。本实用新型在不额外增加工艺层数的前提下，通过增加一个凸块或缺块从而调整上电极、压电层或下电极的形状，从而让横向波的能量衰减，降低横向波的反射能量，提高Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 底电极 压电层 薄膜体声波谐振器 本实用新型 顶电极 横向波 基底 反射界面 反射能量 能量衰减 依次设置 电极 工艺层 下电极 缺块 凸块 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜体声波谐振器，包括从下到上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，其中基底与底电极之间设有反射界面，其特征在于：所述的底电极、压电层和顶电极中，至少有一层的形状与其它层不同。
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