[实用新型]真空转换室密封设备和带真空转换室的设备有效
| 申请号： | 201820219195.2 | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN207892416U | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 睿力集成电路有限公司 |
| 主分类号： | E05F15/50 | 分类号： | E05F15/50;E06B7/16 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 屈小春;武晨燕 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空转换室密封设备，包括：框架主体，与所述真空转换室具有窗口的一侧的外侧壁贴合；门板，设置在所述框架主体内，用于在第一阶段在所述框架主体中沿垂直方向移动以与所述窗口对准，其中，所述门板边缘与所述框架主体的内壁具有预设间隔，以及在第二阶段，沿水平方向移动以密封真空转换室；以及传送机构，包括与所述门板连接以带动所述门板沿垂直或水平方向移动的第一传送组件，以及与所述第一传送组件连接且用于带动所述第一传送组件沿水平方向移动的第二传送组件。以及本实用新型还提供一种带真空转换室的设备。实施本实用新型，可以在密封或开启真空转换室的过程中避免细微颗粒进入真空室。 | ||
| 搜索关键词： | 真空转换 传送组件 框架主体 水平方向移动 本实用新型 门板 密封设备 传送机构 门板边缘 密封真空 细微颗粒 预设间隔 外侧壁 真空室 转换室 内壁 贴合 密封 对准 垂直 移动 | ||
【主权项】：
1.一种真空转换室密封设备，其特征在于，包括：框架主体，与所述真空转换室具有窗口的一侧的外侧壁贴合；门板，设置在所述框架主体内，用于在第一阶段在所述框架主体中沿垂直方向移动以与所述窗口对准，以及在第二阶段，沿水平方向移动以密封所述真空转换室；其中，所述门板边缘与所述框架主体的内壁具有预设间隔；以及传送机构，包括与所述门板连接以带动所述门板沿垂直或者水平方向移动的第一传送组件，以及与所述第一传送组件连接且用于带动所述第一传送组件沿水平方向移动的第二传送组件。
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