[实用新型]光阻喷嘴清洗装置及光阻涂布装置有效
| 申请号： | 201820247160.X | 申请日： | 2018-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN207946620U | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 陈文勇;王凤 | 申请（专利权）人： | 咸阳彩虹光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G03F7/16;B08B1/04;B08B3/08;B08B15/00 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 712000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光阻喷嘴清洗装置，包括固定轴和滚筒，所述固定轴水平固定在光阻涂布装置的机架上；所述滚筒套设在所述固定轴上并可绕所述固定轴转动，所述滚筒的外部设置滚筒包覆件，所述滚筒包覆件与所述滚筒同轴，且所述滚筒的外壁与所述滚筒包覆件的内壁之间构成空心腔，所述滚筒包覆件上开设有喷嘴开口和溶剂开口，所述光阻喷嘴能够通过所述喷嘴开口与所述滚筒的外壁接触，并且洗涤溶剂能够通过所述溶剂开口到达所述滚筒的外壁。本实用新型的光阻喷嘴清洗装置在现有的滚筒外部设置滚筒包覆件，防止在光阻喷嘴清洗过程中洗涤溶剂溅射到待涂布的玻璃基板上，造成后续涂布不均匀的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 滚筒 光阻喷嘴 滚筒包 覆件 固定轴 清洗装置 外壁 光阻涂布装置 本实用新型 喷嘴开口 外部设置 洗涤溶剂 溶剂 开口 玻璃基板 清洗过程 水平固定 不均匀 滚筒套 空心腔 溅射 内壁 同轴 转动 | ||
【主权项】：
1.一种光阻喷嘴清洗装置，其特征在于，包括固定轴(4)和滚筒(1)，其中，所述固定轴(4)水平固定在光阻涂布装置的机架(5)上；所述滚筒(1)套设在所述固定轴(4)上并可绕所述固定轴(4)转动，所述滚筒(1)的外部设置滚筒包覆件(6)，所述滚筒包覆件(6)与所述滚筒(1)同轴，且所述滚筒(1)的外壁与所述滚筒包覆件(6)的内壁之间构成空心腔，所述滚筒包覆件(6)上开设有喷嘴开口(7)和溶剂开口(8)，所述光阻喷嘴能够通过所述喷嘴开口(7)与所述滚筒(1)的外壁接触，并且洗涤溶剂能够通过所述溶剂开口(8)到达所述滚筒(1)的外壁。
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