[实用新型]一种高效环形对溅射磁控镀膜机

摘要

本实用新型涉及一种高效环形对溅射磁控镀膜机，包括壳体，壳体内设置有空腔，壳体上设置有磁控阴极，空腔内与空腔同轴设置有隔离筒，空腔由隔离筒分为真空腔及内环腔，壳体外周沿周向等间距排列设置有若干磁控阴极，且相邻磁控阴极的磁极相反，壳体外周的所有磁控阴极构成第一磁控阴极组，隔离筒内壁沿周向等间距排列设置有若干磁控阴极，且相邻磁控阴极的磁极相反，隔离筒内壁的所有磁控阴极构成第二磁控阴极组。采用上述方案，提供一种通过设置隔离筒，使得可在壳体外周及隔离筒内周均设置沿周向排列设置磁控阴极，从而将真空腔内的磁场复杂化，增加电子与真空腔内的气体分子的电离概率，最终增大镀膜效率的一种高效环形对溅射磁控镀膜机。

主权项

1.一种高效环形对溅射磁控镀膜机，包括呈圆柱状的壳体，所述壳体内同轴设置有呈圆柱状的空腔，所述壳体上设置有磁控阴极，所述壳体外周开设有抽气口以及进料口，其特征在于：所述空腔内与空腔同轴设置有隔离筒，所述空腔由隔离筒分为真空腔及内环腔，所述真空腔位于壳体内壁侧与隔离筒外壁侧之间，所述内环腔位于隔离筒内壁侧，所述抽气口及进料口与真空腔连通，所述壳体外周沿周向等间距排列设置有若干磁控阴极，且相邻所述磁控阴极的磁极相反，所述壳体外周的所有磁控阴极构成第一磁控阴极组，所述隔离筒内壁沿周向等间距排列设置有若干磁控阴极，且相邻所述磁控阴极的磁极相反，所述隔离筒内壁的所有磁控阴极构成第二磁控阴极组。