[实用新型]一种用于切割机进料手臂的吸料装置有效
| 申请号： | 201820279791.X | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN207852628U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 孟强;聂伟;陈志远;吴秋明;王坤 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 董旭东 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了晶圆切割领域内的一种用于切割机进料手臂的吸料装置，包括伸出支架，伸出支架的一端固定连接有吸嘴支架，伸出支架的另一端设有负压发生器，所述吸嘴支架上设有至少两个吸嘴，吸嘴为管状，吸嘴的上端一体设置有螺栓，螺栓与吸嘴同轴，所述吸嘴支架上对应螺栓设有两个螺纹孔，螺栓与吸嘴支架固定连接，所述吸嘴的下端设有开口，吸嘴的侧面经软管与负压发生器相连接。本实用新型能够精确吸取晶圆，然后快速高效地将晶圆搬运到切割机台上，上料效率更高，省时省力。 | ||
| 搜索关键词： | 吸嘴 螺栓 吸嘴支架 切割机 支架 本实用新型 负压发生器 进料手臂 吸料装置 伸出 晶圆 晶圆切割 上料效率 一体设置 软管 螺纹孔 上端 省时 同轴 下端 省力 搬运 开口 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种用于切割机进料手臂的吸料装置，其特征在于，包括伸出支架，伸出支架的一端固定连接有吸嘴支架，伸出支架的另一端设有负压发生器，所述吸嘴支架上设有至少两个吸嘴，吸嘴为管状，吸嘴的上端一体设置有螺栓，螺栓与吸嘴同轴，所述吸嘴支架上对应螺栓设有两个螺纹孔，螺栓与吸嘴支架固定连接，所述吸嘴的下端设有开口，吸嘴的侧面经软管与负压发生器相连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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