[实用新型]适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统有效
| 申请号： | 201820307324.3 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN207933523U | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 武迪;郑大平;朱瑞;杨明;徐元成 | 申请（专利权）人： | 湖北碳六科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 杨采良 |
| 地址： | 443400 湖北省宜*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，将一套包含有前级泵和高真空泵的真空抽气系统安装在可移动式平台上，可移动式真空抽气系统以快接的方式与气相沉积真空装置连接起来，气相沉积真空装置正常生产时只需配备一台振动小的维持泵即可。可移动式真空抽气系统能够高效解决一台或者多台气相沉积真空装置的真空抽气问题，大大降低了硬件成本，并且提高了真空抽气效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空抽气系统 真空装置 可移动式 气相沉积 真空抽气 套包 可移动式平台 本实用新型 高真空泵 硬件成本 前级泵 沉积 台气 配备 生产 | ||
【主权项】：
1.一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，包括前级泵和高真空泵，其特征在于：所述前级泵和高真空泵安装在一个可移动式的平台上；所述前级泵的一端和高真空泵的一端连接在一起；所述前级泵和高真空泵的另一端均设有快接端口。
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