[实用新型]一种旋转硅铝靶材有效
| 申请号： | 201820309922.4 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN208121191U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 常代展;王雷 | 申请（专利权）人： | 南通安泰新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226341 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种旋转硅铝靶材，涉及溅镀技术领域，其技术方案要点是：包括背衬管以及套设在背衬管外的靶材体，所述靶材体与背衬管之间设有导电导热胶，还包括沿背衬管的轴向滑移设置在背衬管端部的支撑杆，所述支撑杆远离背衬管的一端设有与背衬管外周弧度相同的托板；所述背衬管的两端设有供支撑杆滑移的开口槽以及将开口槽的开口封闭的挡板，所述背衬管每端的支撑杆至少为两个且互相垂直设置。当运输时，将挡板拆卸下来，支撑杆从背衬管内取出，朝向背衬管外部再次安装到开口槽内，通过挡板固定。托板可以对相邻靶材的背衬管进行支撑以及限位，在运输时可以有效的避免靶材在运输箱内出现滚动，避免靶材在运输时出现碰撞损坏现象。 | ||
| 搜索关键词： | 背衬管 靶材 支撑杆 开口槽 挡板 运输 硅铝 托板 技术方案要点 本实用新型 挡板拆卸 互相垂直 开口封闭 碰撞损坏 轴向滑移 导热胶 导电 滑移 溅镀 外周 限位 滚动 取出 外部 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种旋转硅铝靶材，包括背衬管(1)以及套设在背衬管(1)外的靶材体(2)，所述靶材体(2)与背衬管(1)之间设有导电导热胶，其特征在于：还包括沿背衬管(1)的轴向滑移设置在背衬管(1)端部的支撑杆(5)，所述支撑杆(5)远离背衬管(1)的一端设有与背衬管(1)外周弧度相同的托板(7)；所述背衬管(1)的两端设有供支撑杆(5)滑移的开口槽(3)以及将开口槽(3)的开口封闭的挡板(4)，所述背衬管(1)每端的支撑杆(5)至少为两个且互相垂直设置。
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