[实用新型]一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉有效
| 申请号： | 201820338740.X | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN208121243U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 王海 | 申请（专利权）人： | 福能科技江苏有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264 | 代理人： | 陈臣 |
| 地址： | 223600 江苏省宿*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，包括设置在多晶炉体内的石墨护板和坩埚，所述坩埚设置在石墨护板上，所述石墨护板下方依次设置有加热器、硬碳纤维板、冷却铜管和风门，所述坩埚底部设置有位于石墨护板上方的软碳纤维板，所述坩埚正前方和后方对称设置有位于石墨护板上的水平保温装置，所述坩埚两侧外侧对称设置有位于石墨护板上的纵向保温装置，2个水平保温装置和2个纵向保温装置首尾相互连接成一个环形密封保温圈。本实用新型所述的提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，通过对多晶炉内的特殊设计，提高了多晶硅锭长晶时温度控制均匀的特性，从而提高硅锭的内部质量，提高硅板的转化率，提升硅锭质量。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 护板 多晶炉 坩埚 保温装置 多晶硅锭 本实用新型 对称设置 碳纤维板 硅锭 加热器 环形密封 冷却铜管 依次设置 正前方 保温圈 风门 硅板 首尾 生产 体内 | ||
【主权项】：
1.一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，包括设置在多晶炉体内的石墨护板和坩埚，所述坩埚设置在石墨护板上，其特征在于，所述石墨护板下方依次设置有加热器、硬碳纤维板、冷却铜管和风门，所述坩埚底部设置有位于石墨护板上方的软碳纤维板，所述坩埚正前方和后方对称设置有位于石墨护板上的水平保温装置，所述坩埚两侧外侧对称设置有位于石墨护板上的纵向保温装置，2个水平保温装置和2个纵向保温装置首尾相互连接成一个环形密封保温圈。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福能科技江苏有限公司，未经福能科技江苏有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820338740.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
