[实用新型]工艺腔真空系统和半导体装置有效
| 申请号： | 201820354952.7 | 申请日： | 2018-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN208014646U | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 薛强;阚保国;刘家桦 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种工艺腔真空系统和半导体装置，包括摆阀匹配盘悬架、装配螺栓和驱动杆，所述装配螺栓用于将所述摆阀匹配盘悬架固定在一腔体上，所述装配螺栓包括螺杆以及与所述螺杆连接的头部，所述头部与所述螺杆同轴，所述头部的外周面上设置有涡轮结构，所述驱动杆的外周面上设置有至少一个与所述装配螺栓上的涡轮结构相啮合的蜗杆结构，所述蜗杆结构用于驱动所述装配螺栓转动。所述工艺腔真空系统通过转动驱动杆，以通过蜗杆结构驱动涡轮结构旋转，进而带动装配螺栓旋转，从而实现装配螺栓的拆装，由于仅需带动驱动杆旋转，而驱动杆转动需要的空间较小，因此可提高工艺腔真空系统和半导体装置的摆阀匹配盘悬架的装配螺栓的安装便利性。 | ||
| 搜索关键词： | 装配螺栓 真空系统 工艺腔 驱动杆 半导体装置 蜗杆结构 涡轮结构 摆阀 悬架 匹配 外周 转动 啮合 本实用新型 转动驱动杆 驱动 安装便利 螺杆连接 螺杆同轴 拆装 螺杆 | ||
【主权项】：
1.一种工艺腔真空系统，其特征在于，包括摆阀匹配盘悬架、装配螺栓和驱动杆，所述装配螺栓用于将所述摆阀匹配盘悬架固定在一腔体上，所述装配螺栓包括螺杆以及与所述螺杆连接的头部，所述头部与所述螺杆同轴，所述头部的外周面上设置有涡轮结构，所述驱动杆的外周面上设置有至少一个与所述装配螺栓上的涡轮结构相啮合的蜗杆结构，所述蜗杆结构用于驱动所述装配螺栓转动。
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