[实用新型]硅片托举装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片托举装置，包括底框、滑移块、第一升降组件、托架和第二升降组件；滑移块滑动安装于底框上；且能在底框上沿X方向移动；第一升降组件滑动安装于滑移块上；且能在滑移块上沿Y方向移动，第一升降组件包括能在第一升降组件上沿Z方向移动的第一升降板；托架的第一端与第一升降板固定连接，第二端沿X方向延伸；第二升降组件固定于底框上，第二升降板支撑在托架的第二端上，且包括能与第一升降板同步沿Z方向移动的第二升降板。本实用新型中，托架的两端分别被第一和第二升降组件支撑，且第一和第二升降组件同步运行，保证托架的两端同步移动的前提下，增加托架的支撑点，避免托架移动过程中的晃动，增加托盘平稳性。

主权项

1.一种硅片托举装置，其特征在于，包括：底框；滑移块，所述滑移块滑动安装于所述底框上；且所述滑移块能在所述底框上沿X方向移动；第一升降组件，滑动安装于所述滑移块上；且所述第一升降组件能在所述滑移块上沿Y方向移动；所述第一升降组件包括第一升降板，所述第一升降板能在所述第一升降组件上沿Z方向移动；托架，所述托架的第一端与所述第一升降板固定连接，所述托架的第二端沿X方向延伸；第二升降组件，固定于所述底框上，所述第二升降组件包括第二升降板，所述第二升降板支撑所述托架的第二端，所述第二升降板能在所述升降组件上沿Z方向移动，且所述第二升降板与所述第一升降板的移动保持同步。