[实用新型]一种共面解耦的XY高精运动平台

摘要

本实用新型实施例提供了一种共面解耦的XY高精运动平台，通过将第一底座、第一运动组件、第二底座、第二运动组件和动平台以层叠式的结构呈现，能够有效利用空间、精简整个平台的架构并简化组件的组成，且由于第一运动组件和第二运动组件的运动方向垂直，将动平台拆成三块子组件，通过第一运动组件和第二运动组件的各自运动来控制动平台的整体运动以及子组件之间的相对运动，在同一平面对宏微两级(共四个驱动源)并行驱动实现双重解耦，实现XY方向上的宏微复合运动，实现平面空间位置的精准定位。

主权项

1.一种共面解耦的XY高精运动平台，其特征在于，包括：第一底座、第二底座、第一运动组件、第二运动组件和动平台；所述第一底座、所述第一运动组件、所述第二底座、所述第二运动组件和所述动平台从下往上依次层叠设置；所述第一运动组件的第一运动方向和所述第二运动组件的第二运动方向相互垂直；所述动平台由子动平台、第一辅助运动件和第二辅助运动件两两之间连接构成；所述第一运动组件用于带动所述动平台进行沿所述第一运动方向的宏运动；所述第二运动组件用于在所述第二辅助运动件固定时，带动所述子动平台和所述第一辅助运动件进行沿所述第二运动方向的宏运动；所述第一运动组件还用于在所述第二辅助运动件固定时，带动所述子动平台和所述第一辅助运动件进行沿所述第一运动方向的微运动；所述第二运动组件还用于在所述第一辅助运动件和所述第二辅助运动件固定时，带动所述子动平台进行沿所述第二运动方向的微运动。