[实用新型]一种汞灯灯室有效
| 申请号： | 201820409916.6 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN207946644U | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 赵峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型属于光刻曝光技术领域，具体公开了一种汞灯灯室，包括灯室本体和椭球反射镜，所述椭球反射镜内设置有汞灯；所述灯室本体包括：移动架，所述椭球反射镜固定连接于所述移动架上；以及固定架，具有容纳所述移动架的容纳腔，所述移动架能相对于所述固定架移动以带动所述椭球反射镜移出所述容纳腔。本实用新型公开的汞灯灯室，能提高汞灯维护和更换的效率及安全性，使汞灯维修和更换更为方便快捷。 | ||
| 搜索关键词： | 椭球反射镜 移动架 汞灯灯室 汞灯 本实用新型 固定架 容纳腔 灯室 维修和更换 光刻曝光 移出 容纳 移动 维护 | ||
【主权项】：
1.一种汞灯灯室，包括灯室本体，汞灯(2)和椭球反射镜(3)，所述汞灯(2)设置于所述椭球反射镜(3)内，其特征在于，所述灯室本体包括：移动架(11)，所述椭球反射镜(3)固定连接于所述移动架(11)上；以及固定架(12)，具有容纳所述移动架(11)的容纳腔，所述移动架(11)能相对于所述固定架(12)移动以带动所述椭球反射镜(3)移出所述容纳腔。
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