[实用新型]一种单晶石英坩埚有效
申请号: | 201820422347.9 | 申请日: | 2018-03-27 |
公开(公告)号: | CN208219005U | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 庞卫 | 申请(专利权)人: | 连云港亿博材料开发有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人: | 刘刚 |
地址: | 222000 江苏省连云*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶石英坩埚,包括主体,所述主体由二氧化硅层与抗氧化层组成,且抗氧化层覆盖在二氧化硅层的外表面,所述主体的内部下端位于抗氧化层的外表面的位置固定安装有石墨烯导热板,所述主体的一侧外表面设有指窝,所述主体的一侧靠近主体的上端的位置固定安装有导液豁口,所述主体的下端外表面设有单晶硅底板,所述主体的下端位于单晶硅底板的外表面的位置设有花键环,所述主体的上端设有上盖。本实用新型所述的一种单晶石英坩埚,设有石墨烯导热板、指窝与花键环,能够便于石英坩埚的加热,并能方便单晶石英坩埚的拿取,还能防止单晶石英坩埚滑动造成损坏,方便人们使用,带来更好的使用前景。 | ||
搜索关键词: | 单晶石英坩埚 抗氧化层 下端 本实用新型 单晶硅底板 二氧化硅层 上端 导热板 石墨烯 花键 指窝 石英坩埚 豁口 滑动 导液 拿取 上盖 加热 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种单晶石英坩埚,包括主体(1),其特征在于:所述主体(1)由二氧化硅层(2)与抗氧化层(3)组成,且抗氧化层(3)覆盖在二氧化硅层(2)的外表面,所述主体(1)的内部下端位于抗氧化层(3)的外表面的位置固定安装有石墨烯导热板(4),所述主体(1)的一侧外表面设有指窝(5),所述主体(1)的一侧靠近主体(1)的上端的位置固定安装有导液豁口(6),所述主体(1)的下端外表面设有单晶硅底板(7),所述主体(1)的下端位于单晶硅底板(7)的外表面的位置设有花键环(8),所述主体(1)的上端设有上盖(9),所述上盖(9)的下端外表面固定安装有盖沿(10),所述主体(1)的上端外表面固定安装有提手(11),所述提手(11)的一侧外表面设有通孔(12),所述提手(11)的一侧贯穿通孔(12)的位置设有挂绳(13)。
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