[实用新型]一种靶材锁紧装置有效
| 申请号： | 201820432038.X | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN208201103U | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 陈君;乐务时 | 申请（专利权）人： | 苏州涂冠镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种靶材锁紧装置，属于表面处理技术领域，它解决了现有技术中靶材利用率低的问题。本靶材锁紧装置，靶材为截面呈梯形的柱状结构，靶材锁紧装置包括呈一端开口的靶座固定环，靶座固定环内表面设有内螺纹，靶座固定环螺纹连接有靶材压紧环，靶材压紧环外侧与靶座固定环内表面螺纹连接，靶材压紧环内侧压紧于靶材的外侧斜面，靶材与靶座固定环之间还设有密封冷却装置。本锁紧装置靶材的直接损失可降到5％以下，且固定锁紧方便可靠，通过螺纹和设定的小工具配合扭力扳手，可以方便的在靶以外的空间操作，并按照固定的力矩锁紧，排除误操作、真空压力变化、冷热变化引起的松弛漏气问题。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 锁紧装置 固定环 靶座 压紧环 表面处理技术 密封冷却装置 靶材利用率 本实用新型 内表面螺纹 空间操作 冷热变化 漏气问题 螺纹连接 扭力扳手 外侧斜面 一端开口 真空压力 柱状结构 固定的 固定锁 内表面 内螺纹 误操作 小工具 螺纹 锁紧 压紧 松弛 配合 | ||
【主权项】：
1.一种靶材锁紧装置，其特征在于，所述的靶材为截面呈梯形的柱状结构，靶材锁紧装置包括呈一端开口的靶座固定环，所述的靶座固定环内表面设有内螺纹，所述的靶座固定环螺纹连接有靶材压紧环，所述的靶材压紧环外侧与靶座固定环内表面螺纹连接，所述的靶材压紧环内侧压紧于靶材的外侧斜面，所述的靶材与靶座固定环之间还设有密封冷却装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州涂冠镀膜科技有限公司，未经苏州涂冠镀膜科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820432038.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：隧道式溅射镀膜机
- 下一篇：一种超硬防水防污镀膜
- 同类专利
- 专利分类
