[实用新型]一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置有效
| 申请号： | 201820457137.3 | 申请日： | 2018-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN208087780U | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 何志华 | 申请（专利权）人： | 新疆大全新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 832012 新疆维吾尔自治*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅单晶生产技术领域，具体涉及一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置。主要技术方案为：一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，包括:夹持本体和转轴；所述夹持本体具有上端开口的圆柱状的容腔，用于支撑原料棒；所述夹持本体为氮化硅材料；所述夹持本体上设置有螺纹孔；所述螺纹孔沿所述容腔的径向设置；所述螺纹孔为多个；多个所述螺纹孔沿所述容腔的圆周方向均匀分布；所述转轴固定地设置在所述夹持本体的底部，与所述容腔同轴设置。采用本实用新型使支撑装置能够耐高温，提高其可靠性，进而提高拉制硅单晶过程的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持本体 支撑装置 硅单晶 螺纹孔 容腔 本实用新型 转轴 氮化硅材料 硅单晶生产 径向设置 上端开口 同轴设置 拉制 耐高温 原料棒 圆柱状 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，其特征在于，包括:夹持本体和转轴；所述夹持本体具有上端开口的圆柱状的容腔，用于支撑原料棒；所述夹持本体为氮化硅材料；所述夹持本体上设置有螺纹孔；所述螺纹孔沿所述容腔的径向设置；所述螺纹孔为多个；多个所述螺纹孔沿所述容腔的圆周方向均匀分布；所述转轴固定地设置在所述夹持本体的底部，与所述容腔同轴设置。
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