[实用新型]一种硅片切割液回收装置有效
| 申请号： | 201820467262.2 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN208263220U | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 吴昌皂 | 申请（专利权）人： | 江苏鹏程化工有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/02 | 分类号： | B28D7/02;B28D7/00 |
| 代理公司： | 连云港润知专利代理事务所 32255 | 代理人： | 王彦明 |
| 地址： | 222000 江苏省连云*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种硅片切割液回收装置，该装置包括喷液机构和收液机构，喷液机构包括设置在硅片切割机上的支撑柱，支撑柱通过旋转升降机构安装在硅片切割机上，支撑柱四周的侧壁上滑动设置有若干用于对硅片进行喷洒切割液的切割液喷头；所述收液机构包括设置在硅片切割机下部的收集斗，收集斗的下方设置有切割液收集槽，切割液收集槽通过收集管与收集斗的连通，收集管内设置有切割液过滤筒；所述切割液收集槽外包裹有通有冷却水的冷却腔，切割液喷头通过喷洒管与切割液收集槽的下部连通。该装置设计合理、简单实用，不仅能实现硅片切割液的均匀、全方位喷洒，而且能够将喷洒后的切割液进行有效去杂、冷却回收再利用。 | ||
| 搜索关键词： | 切割液 收集槽 硅片切割机 硅片切割液 收集斗 支撑柱 喷头 回收装置 喷液机构 收集管 收液 连通 喷洒 旋转升降机构 全方位喷洒 滑动设置 冷却回收 装置设计 过滤筒 冷却腔 冷却水 喷洒管 再利用 侧壁 硅片 去杂 | ||
【主权项】：
1.一种硅片切割液回收装置，其特征在于：该装置包括喷液机构和收液机构，喷液机构包括设置在硅片切割机上的支撑柱，支撑柱通过旋转升降机构安装在硅片切割机上，支撑柱四周的侧壁上滑动设置有若干用于对硅片进行喷洒切割液的切割液喷头；所述收液机构包括设置在硅片切割机下部的收集斗，收集斗的下方设置有切割液收集槽，切割液收集槽通过收集管与收集斗的连通，收集管内设置有切割液过滤筒；所述切割液收集槽外包裹有通有冷却水的冷却腔，切割液喷头通过喷洒管与切割液收集槽的下部连通。
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