[实用新型]适用于电容用氮化硅和做屏蔽层保护用氮化硅的气路系统

摘要

本实用新型公开了一种适用于电容用氮化硅和做屏蔽层保护用氮化硅的气路系统，包括第四进气管；所述的第四进气管上依次安装有第四隔膜阀、第四调压阀、第十七常闭气动阀；所述的第四进气管与第五质量流量计通过管路相连；所述的第十常闭气动阀、第十一常闭气动阀之间的管路与第十八常闭气动阀通过管路相连；所述的第十八常闭气动阀通过管路与所述的第十七常闭气动阀、第五质量流量计之间的管路相连；所述的第五质量流量计通过管路与第十九常闭气动阀相连；所述的第十九常闭气动阀通过管路与第九常闭气动阀通过管路相连。本实用新型系统能适用CAP‑SIN或F‑SIN两种工艺，且运行稳定，适应性强，以最小投入成本完成系统改造。

主权项

1.一种适用于电容用氮化硅和做屏蔽层保护用氮化硅的气路系统，包括第十常闭气动阀(21)、第十一常闭气动阀(22)、第七常闭气动阀(19)、第八常闭气动阀(20)、第九常闭气动阀(40)；其特征在于：还包括第四进气管(41)；所述的第四进气管(41)上依次安装有第四隔膜阀(42)、第四调压阀(43)、第十七常闭气动阀(44)；所述的第十七常闭气动阀(44)与第五质量流量计(45)通过管路相连；所述的第十常闭气动阀(21)、第十一常闭气动阀(22)之间的管路与第十八常闭气动阀(46)通过管路相连；所述的第十八常闭气动阀(46)通过管路与所述的第十七常闭气动阀(44)、第五质量流量计(45)之间的管路相连；所述的第五质量流量计(45)通过管路与第十九常闭气动阀(47)相连；所述的第十九常闭气动阀(47)通过管路与第九常闭气动阀(40)通过管路相连，且所述的第十九常闭气动阀(47)、第九常闭气动阀(40)之间的管路与所述的第七常闭气动阀(19)、第八常闭气动阀(20)之间的管路连通。