[实用新型]集成式阀座、具有该阀座的氦质谱检漏仪真空气路系统有效
| 申请号： | 201820479836.8 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN208076107U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 朱操胜 | 申请（专利权）人： | 安徽诺益科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人： | 邱兴天 |
| 地址： | 230041 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种集成式阀座、具有该阀座的氦质谱检漏仪真空气路系统，所述外气孔位于内气孔之外，内气孔和外气孔之间通过电磁阀阀芯分隔，集成式阀座上还设置有公共进气孔、排气孔和通气孔，所述公共进气孔分别连通第一阀座、第二阀座、第三阀座的外气孔、第五阀座的内气孔；所述排气孔分别连通第一阀座的内气孔、第四阀座的内气孔接口；第二阀座和第三阀座内气孔分别连通主真空泵的中真空入口和低真空入口；所述通气孔与第五阀座的外气孔连通。本实用新型将真空管路模块化，极大的减少的系统占用的空间，省去了空间布管，省去了众多的管件和接头，提高了系统可靠性，大大降低了安装难度，优化了布线。 | ||
| 搜索关键词： | 阀座 连通 集成式 氦质谱检漏仪 真空气路系统 本实用新型 进气孔 排气孔 通气孔 电磁阀阀芯 系统可靠性 安装难度 系统占用 真空管路 真空入口 主真空泵 低真空 模块化 布管 布线 分隔 管件 优化 | ||
【主权项】：
1.一种集成式阀座，其特征在于，所述集成式阀座上设有用于安装电磁阀阀体和阀芯的同轴式第一阀座、第二阀座、第三阀座、第四阀座和第五阀座，每个同轴式的单个阀座包括内气孔和外气孔，所述内气孔和外气孔同轴心设置，所述外气孔位于内气孔之外，内气孔和外气孔之间通过电磁阀阀芯分隔，集成式阀座上还设置有公共进气孔、排气孔和通气孔，所述公共进气孔分别连通第一阀座、第二阀座、第三阀座的外气孔、第五阀座的内气孔；所述排气孔分别连通第一阀座的内气孔、第四阀座的内气孔接口；所述通气孔与第五阀座的外气孔连通。
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