[实用新型]一种用于晶片湿法清洗后的氮气烘干模块有效
| 申请号： | 201820483095.0 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN208091183U | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 叶曲波 | 申请（专利权）人： | 上海思恩装备科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/14 | 分类号： | F26B21/14 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 201611 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶片湿法清洗后的氮气烘干模块，包括储气罐、在线加热器和烘干槽本体，所述在线加热器通过管路分别与储气罐和烘干槽本体相通，所述烘干槽本体上方设有槽盖，内部设有多路喷淋管路，所述喷淋管路通过管夹固定于烘干槽本体的内部侧壁上，所述喷淋管路上均匀分布有多个喷嘴，所述在线加热器通向烘干槽本体的管路通过三通管件分为多路，分别与烘干槽本体内部的多路喷淋管路一一相通，所述储气罐底部设有烘干模块进气口，所述烘干槽本体底部设有烘干模块出气口，本实用新型利用高温高压氮气对湿法清洗后的晶片进行烘干处理，结构简单，操作便捷，烘干速度快，干燥效果好，全程无污染，且受热均匀对晶片质量没有损害。 | ||
| 搜索关键词： | 烘干槽 烘干模块 储气罐 晶片 在线加热器 喷淋管路 湿法清洗 多路 氮气 本实用新型 进气口 相通 高温高压氮气 干燥效果 烘干处理 内部侧壁 三通管件 受热均匀 喷嘴 出气口 喷淋管 烘干 槽盖 管夹 全程 损害 | ||
【主权项】：
1.一种用于晶片湿法清洗后的氮气烘干模块，其特征在于，包括储气罐、在线加热器和烘干槽本体，所述在线加热器通过管路分别与储气罐和烘干槽本体相通，所述烘干槽本体上方设有槽盖，内部设有多路喷淋管路，所述喷淋管路上设有喷嘴，所述在线加热器通向烘干槽本体的管路通过三通管件分为多路，分别与烘干槽本体内部的多路喷淋管路一一相通，所述储气罐底部设有烘干模块进气口，所述烘干槽本体底部设有烘干模块出气口。
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