[实用新型]一种单晶炉用废气孔罩

摘要

本实用新型涉及一种单晶炉用废气孔罩，用于安装在废气孔上；废气孔设置在单晶炉底盘上；废气孔罩包括：罩盘本体及支撑爪；罩盘本体呈圆形与废气孔适配；支撑爪为多个设置在罩盘本体下部并围设在废气孔周围支撑罩盘本体。首先由于在废气孔上设置了废气孔罩，拉晶过程中，由于投料量增大挥发物也会随着增多，其通过排气孔罩，改变了挥发物原有的运行路径，既起到了分离过滤挥发物作用，防止阻塞排气孔导致整炉液体硅拉不成单晶，造成焖炉；其次当发生石英埚破裂导致硅液溢流后，由于废气孔罩设于热场与排气孔之间增加了缓冲，发生硅液溢流时有效降低了其通过排气口流向单晶炉外的管道，造成不锈钢管道被高温硅溶液烫坏迅速破裂的风险。

主权项

1.一种单晶炉用废气孔罩，其安装在废气孔(3)上，所述废气孔(3)设置在单晶炉底盘上；其特征在于，包括：罩盘本体(1)及支撑爪(2)；所述罩盘本体(1)呈圆形与所述废气孔(3)适配；所述支撑爪(2)为多个设置在所述罩盘本体(1)下部并围设在所述废气孔(3)周围支撑所述罩盘本体(1)。