[实用新型]一种磁控溅射靶材用水路背板有效
| 申请号： | 201820495608.X | 申请日： | 2018-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN208378982U | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 陈佳;陈宝忠 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 福州科扬专利事务所 35001 | 代理人： | 徐开翟 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射靶材用水路背板，包括上背板和下背板，所述上背板下端面设置有第一环形水路槽，所述第一环形水路槽前端连通有第一入水口和第一出水口，所述下背板上端面设置有第二环形水路槽，所述第二环形水路槽前端连通有第二入水口和第二出水口，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽为镜像设置的双线单螺旋环形槽，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽结合形成总水路槽，所述第一入水口、第一出水口和第二入水口、第二入水口结合形成总入水口和总出水口；本实用新型的总水路槽为双线单螺旋环形槽形成环形回路，这样可以确保与上背板和下背板的最大化接触面积，又保持水压稳定，确保冷却良好。 | ||
| 搜索关键词： | 环形水路 入水口 出水口 上背板 下背板 磁控溅射靶材 槽前端 单螺旋 环形槽 总水路 双线 连通 本实用新型 环形回路 镜像设置 水压稳定 总出水口 槽结合 上端面 下端面 最大化 背板 冷却 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射靶材用水路背板，包括上背板和下背板，其特征在于：所述上背板下端面设置有第一环形水路槽，所述第一环形水路槽前端连通有第一入水口和第一出水口，所述下背板上端面设置有第二环形水路槽，所述第二环形水路槽前端连通有第二入水口和第二出水口，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽为镜像设置的双线单螺旋环形槽，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽结合形成总水路槽，所述第一入水口、第一出水口和第二入水口、第二入水口结合形成总入水口和总出水口，所述总入水口和总出水口内分别设置有出水阀快接头和入水阀快接头。
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