[实用新型]显微扫描装置

摘要

一种显微扫描装置，包含一撷像机构以及一物件驱动机构。撷像机构包含一分光元件、一感光元件、一成像镜、一显微物镜以及一光源。分光元件具有一第一光路、一第二光路以及一第三光路。光源设置于第三光路上，且光源提供一照明光经由分光元件至物件。其中，照明光沿第三光路以及第二光路到达物件，且影像光沿第二光路以及第一光路到感光元件。物件驱动机构驱动物件移动或转动，以供撷像机构在同轴照明下扫描物件。

主权项

1.一种显微扫描装置，包含：一撷像机构，包含：一分光元件，具有一第一光路、一第二光路以及一第三光路；一感光元件，设置于该第一光路上，用以撷取一物件的一影像，其中该物件设置于该第二光路上；一成像镜，设置于该第一光路上，用以汇聚来自该物件的一影像光，其中该成像镜设置于该感光元件与该分光元件之间；一显微物镜，设置于该第二光路上，用以汇聚来自该物件的该影像光，其中该显微物镜设置于该分光元件与该物件之间；以及一光源，设置于该第三光路上，用以提供一照明光至该分光元件；其中，该照明光沿该第三光路以及该第二光路到达该物件，且该影像光沿该第二光路以及该第一光路到达该感光元件；以及一物件驱动机构，用以驱动该物件移动或转动，以供该感光元件扫描该物件。