[实用新型]一种晶圆破损侦测装置及检测机台

摘要

本实用新型提供一种晶圆破损侦测装置及检测机台，其中多片待侦测晶圆通过一卡槽固定于化学槽内，光纤收发装置包括第一类光纤收发装置与第二类光纤收发装置；第一类光纤收发装置，均布于正对待侦测晶圆的待侦测面的位置，与待侦测晶圆的边缘设定一第一预设距离；第二类光纤收发装置，对称分布于待侦测晶圆的边缘的两侧，与待侦测晶圆的边缘设定一第二预设距离；第一类光纤收发装置为单发射装置，第二类光纤收发装置为发射接收装置；控制电路包括模数转换器与处理器。有益效果在于：通过调整光纤收发装置的位置和组数，使得晶圆在进出化学槽的过程中，能够及时侦测出晶圆破裂的情况，并及时发出报警信息而停止工作，避免过多的晶圆受到不良影响而导致报废。

主权项

1.一种晶圆破损侦测装置，应用于晶圆进行清洗和蚀刻的破片侦测过程中，其特征在于，多片待侦测晶圆通过一卡槽固定于化学槽内，包括：一光纤收发装置，所述光纤收发装置包括第一类光纤收发装置与第二类光纤收发装置；所述第一类光纤收发装置，均布于正对所述待侦测晶圆的待侦测面的位置，与所述待侦测晶圆的边缘设定一第一预设距离；所述第二类光纤收发装置，对称分布于所述待侦测晶圆的边缘的两侧，与所述待侦测晶圆的边缘设定一第二预设距离；所述第一类光纤收发装置为单发射装置，所述第二类光纤收发装置为发射接收装置；一控制电路，所述控制电路包括模数转换器与处理器；所述模数转换器的输入端连接所述第二类光纤收发装置的输出端；所述处理器的输入端连接所述模数转换器的输出端。