[实用新型]一种晶圆破损侦测装置及检测机台有效

专利信息
申请号: 201820562207.1 申请日: 2018-04-19
公开(公告)号: CN208298791U 公开(公告)日: 2018-12-28
发明(设计)人: 黄克辉 申请(专利权)人: 武汉新芯集成电路制造有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;H01L21/67
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 俞涤炯
地址: 430205 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型提供一种晶圆破损侦测装置及检测机台,其中多片待侦测晶圆通过一卡槽固定于化学槽内,光纤收发装置包括第一类光纤收发装置与第二类光纤收发装置;第一类光纤收发装置,均布于正对待侦测晶圆的待侦测面的位置,与待侦测晶圆的边缘设定一第一预设距离;第二类光纤收发装置,对称分布于待侦测晶圆的边缘的两侧,与待侦测晶圆的边缘设定一第二预设距离;第一类光纤收发装置为单发射装置,第二类光纤收发装置为发射接收装置;控制电路包括模数转换器与处理器。有益效果在于:通过调整光纤收发装置的位置和组数,使得晶圆在进出化学槽的过程中,能够及时侦测出晶圆破裂的情况,并及时发出报警信息而停止工作,避免过多的晶圆受到不良影响而导致报废。
搜索关键词: 光纤收发装置 晶圆 侦测 机台 预设距离 侦测装置 化学槽 种晶 破损 发射装置 发射接收装置 本实用新型 模数转换器 报警信息 对称分布 卡槽固定 控制电路 检测 处理器 多片 均布 组数 报废 破裂
【主权项】:
1.一种晶圆破损侦测装置,应用于晶圆进行清洗和蚀刻的破片侦测过程中,其特征在于,多片待侦测晶圆通过一卡槽固定于化学槽内,包括:一光纤收发装置,所述光纤收发装置包括第一类光纤收发装置与第二类光纤收发装置;所述第一类光纤收发装置,均布于正对所述待侦测晶圆的待侦测面的位置,与所述待侦测晶圆的边缘设定一第一预设距离;所述第二类光纤收发装置,对称分布于所述待侦测晶圆的边缘的两侧,与所述待侦测晶圆的边缘设定一第二预设距离;所述第一类光纤收发装置为单发射装置,所述第二类光纤收发装置为发射接收装置;一控制电路,所述控制电路包括模数转换器与处理器;所述模数转换器的输入端连接所述第二类光纤收发装置的输出端;所述处理器的输入端连接所述模数转换器的输出端。
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