[实用新型]具有显示监测功能的气体温度调节装置

摘要

一种具有显示监测功能的气体温度调节装置，包含有：一机壳，其外侧设有一输入口及一输出口；一散热模块，设于所述机壳内；一致冷模块，组接于所述散热模块；一降温结构，组设所述致冷模块，并具有至少一流道，所述流道分别连通所述输入口及所述输出口；一运算处理模块，电性连接所述散热模块及所述致冷模块；一侦测模块，电性连接所述运算处理模块及所述致冷模块，并用以对所述流道内的流量及温度进行感测；及一显示设置模块，组设于机壳的外侧，并电性连接运算处理模块及侦测模块；以此，本实用新型通过显示监测机制，以供半导体制程中或系统测试中让工作人员可以降低设定或保养时的人为疏失，以及快速辨别出异常问题点，并尽早排除异常情况。

主权项

1.一种具有显示监测功能的气体温度调节装置，其特征在于，包含有：一机壳，其外侧设有至少一输入口及至少一输出口，且所述机壳内具有一容置空间；一散热模块，其设于所述容置空间；一致冷模块，其具有一发热部及一致冷部，所述致冷模块具有多个致冷芯片，而所述发热部组接有所述散热模块；一降温结构，其组设所述致冷部，且所述降温结构具有至少一流道，所述流道供一载体气体流通，而所述流道分别连通所述输入口及所述输出口；一运算处理模块，其电性连接所述散热模块及所述致冷模块，所述运算处理模块存有至少一监测范围值；一侦测模块，其设于所述机壳内并电性连接所述运算处理模块及所述致冷模块，且所述侦测模块用以对所述流道内的流量及温度进行感测，并产生至少一感测信息，并传输至所述运算处理模块；及一显示设置模块，其组设于所述机壳的外侧，并电性连接所述运算处理模块及所述侦测模块；其中，所述运算处理模块用以控制所述致冷模块的作动，以及用以将所述感测信息与所述监测范围值进行比对运算处理，并产生至少一运作监测信息或至少一异常监测信息，而所述显示设置模块显示所述运作监测信息或所述异常监测信息。