[实用新型]一种光刻机的光罩存放单元及光刻机

摘要

本实用新型公开了一种光刻机的光罩存放单元及光刻机，光刻机的光罩存放单元包括光罩存放台，光罩存放台上设置有光罩支撑架和喷嘴支撑架，光罩存放单元连接一干燥净化装置，干燥净化装置接入干燥气。采用实用新型的技术方案降低了光罩存放单元的环境湿度，抑制了光罩雾化的生长速度，实现提高产品良率，避免了光罩送洗断线所造成的经济损失。

主权项

1.一种光刻机的光罩存放单元，其特征在于，包括光罩存放台，所述光罩存放台上设置有光罩支撑架和喷嘴支撑架，所述喷嘴支撑架设置在所述光罩支撑架的外侧；所述光罩存放单元连接一干燥净化装置，所述干燥净化装置的输入端接入干燥气，所述干燥净化装置包括多个第一输出端和多个第二输出端，所述第一输出端设置在所述喷嘴支撑架的顶端，所述第二输出端设置在所述光罩存放台的上表面；当光罩放置在所述光罩支撑架上时，所述第一输出端所处的高度高于所述光罩的放置的高度，所述第二输出端位于所述光罩的下方。