[实用新型]连续拉晶单晶炉有效
| 申请号： | 201820666315.3 | 申请日： | 2018-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN208440724U | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 蒋国庆 | 申请（专利权）人： | 蒋国庆 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 常州兴瑞专利代理事务所(普通合伙) 32308 | 代理人： | 肖兴坤 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种连续拉晶单晶炉，它包括括底座、主炉室、副炉室、下驱动装置和上驱动装置，它还包括外部加料器和用于熔化硅料的外部化料器，所述外部加料器内设置有加料腔，所述加料腔内设置有加料坩埚，所述外部加料器的顶端盖装有上盖；所述外部化料器的顶端和加料坩埚相连通，所述外部化料器的底端和主炉室坩埚相连通，以便将硅料加至加料坩埚后，硅料漏至外部化料器后被外部化料器熔化，被熔化后的硅料流至主炉室坩埚内。本实用新型可以连续加料、连续化料，从而实现连续拉晶，选用合适的主炉室坩埚可以实现连续拉制五至六根晶棒，减少了冷却、拆炉、装炉的时间，提高了生产效率，也减少了热量的流失。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 化料器 外部 主炉室 硅料 熔化 加料 加料器 拉晶 本实用新型 单晶炉 加料腔 上驱动装置 下驱动装置 连续加料 生产效率 拉制 顶端盖 副炉室 连续化 拆炉 底端 晶棒 上盖 装炉 底座 冷却 | ||
【主权项】：
1.一种连续拉晶单晶炉，它包括括底座(1)、主炉室(2)、副炉室(3)、下驱动装置(4)和上驱动装置(5)，所述主炉室(2)和下驱动装置(4)均安装在底座(1)上，所述主炉室(2)内设置有主炉室坩埚(21)，所述下驱动装置(4)和主炉室坩埚(21)相连，以便通过下驱动装置(4)驱动主炉室坩埚(21)升降，所述副炉室(3)和主炉室(2)相连通，所述上驱动装置(5)安装在副炉室(3)的上端，以便通过上驱动装置(5)驱动拉晶，其特征在于，它还包括：外部加料器(6)，所述外部加料器(6)内设置有加料腔(61)，所述加料腔(61)内设置有加料坩埚(62)，所述外部加料器(6)的顶端盖装有上盖(63)；用于熔化硅料的外部化料器(7)，所述外部化料器(7)的顶端和加料坩埚(62)相连通，所述外部化料器(7)的底端和主炉室坩埚(21)相连通，以便将硅料加至加料坩埚(62)后，硅料漏至外部化料器(7)后被外部化料器(7)熔化，被熔化后的硅料流至主炉室坩埚(21)内。
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