[实用新型]基板处理装置有效
| 申请号： | 201820719482.X | 申请日： | 2018-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN208729488U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 金庚模 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B27/00;B24B53/017 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及基板处理装置，用于进行基板研磨工序，其包括：基板放置部，其用于放置基板；第一研磨垫，其研磨基板；第二研磨垫，其与第一研磨垫独立地研磨基板；调节单元，其在第一研磨垫与第二研磨垫中的某一个研磨基板期间，调节第一研磨垫与第二研磨垫中的另一个。本实用新型可以提高基板的处理效率并缩短处理时间。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨垫 研磨基板 基板处理装置 本实用新型 基板 基板研磨工序 基板放置部 处理效率 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，用于进行基板的研磨工序，其特征在于，包括：基板放置部，其用于放置基板；第一研磨垫，其研磨所述基板；第二研磨垫，其与所述第一研磨垫独立地研磨所述基板。
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