[实用新型]一种低温二维真空样品台

摘要

本实用新型属于超高真空设备领域，具体涉及一种低温二维真空样品台。一种低温二维真空样品台，其两个回转驱动电机的动力分别由第一无磁旋转钢丝和第二无磁旋转钢丝传至样品台旋转机构内，第一无磁旋转钢丝将扭矩传至样品台旋转机构内，实现样品台的面内旋转运动；第二无磁旋转钢丝将扭矩传至样品台旋转机构内，实现样品台的倾角摆动；冷却套管下端与样品台旋转机构接触，冷却套管上端设有冷源入口，以保持样品台旋转机构低温；样品台旋转机构外包覆低温屏蔽罩，防止温度扩散。本实用新型结构简单，便于生产，且成本低廉，满足不同的使用要求；本实用新型在保持超高真空环境的同时，可以在超低温环境下工作。

主权项

1.一种低温二维真空样品台，其特征在于，包括两个回转驱动电机(1)、第一无磁旋转钢丝(2)、支撑套管(3)、冷却套管(4)、样品台旋转机构(5)、第二无磁旋转钢丝(6)、六通短管(8)和低温屏蔽罩(9)，其中：两个回转驱动电机(1)的动力分别通过第一无磁旋转钢丝(2)和第二无磁旋转钢丝(6)传至样品台旋转机构(5)内，第一无磁旋转钢丝(2)将扭矩传至样品台旋转机构(5)内，实现样品台的面内旋转运动；第二无磁旋转钢丝(6)将扭矩传至样品台旋转机构(5)内，实现样品台的倾角摆动；支撑套管(3)上端连接六通短管(8)，支撑套管(3)下端连接样品台旋转机构(5)，第一无磁旋转钢丝(2)、第二无磁旋转钢丝(6)和冷却套管(4)位于支撑套管(3)内；冷却套管(4)上端设有冷源入口，以保持样品台旋转机构(5)处于低温环境中；样品台旋转机构(5)外部包覆低温屏蔽罩(9)，防止温度扩散。