[实用新型]一种电注入退火装置有效
| 申请号： | 201820736338.7 | 申请日： | 2018-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN208225897U | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 蒋新;刘涛;陈国才;刘斌;窦福存 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 项丽 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种电注入退火装置，用于电池片退火，包括框架主体，所述框架主体的底部设置有滚轮输送系统，用于承载电池片的载具经所述输送滚轮系统依次经过所述上料工位、反向电流注入工位、冷却工位和下料工位进行退火处理；其中，所述反向电流注入工位用于对所述载具内的电池片进行电注入，所述反向电流注入工位中设有至少两个工艺腔，包括至少一个高温工艺腔和至少一个低温工艺腔，所述反向电流注入工位中配置有热量控制系统，用于调节所述至少一个高温工艺腔和至少一个低温工艺腔的腔内温度。本实用新型能够实现对于电池片的电注入状况下的退火，处理效率高，能够有效提高电池片的转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电池片 反向电流 电注入 工位 退火 本实用新型 低温工艺 高温工艺 框架主体 退火装置 热量控制系统 处理效率 冷却工位 上料工位 输送滚轮 输送系统 退火处理 下料工位 转换效率 工艺腔 滚轮 腔内 载具 承载 配置 | ||
【主权项】：
1. 一种电注入退火装置，用于电池片退火，包括框架主体，所述框架主体的底部设置有滚轮输送系统，沿所述输送滚轮系统的行进方向所述框架主体中依序设置有上料工位、反向电流注入工位 、冷却工位和下料工位，用于承载电池片的载具经所述输送滚轮系统依次经过所述上料工位、反向电流注入工位 、冷却工位和下料工位进行退火处理；其中，所述反向电流注入工位用于对所述载具内的电池片进行电注入，所述反向电流注入工位中设有至少两个工艺腔，包括至少一个高温工艺腔和至少一个低温工艺腔，所述反向电流注入工位中配置有热量控制系统，用于调节所述至少一个高温工艺腔和至少一个低温工艺腔的腔内温度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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