[实用新型]一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器有效
| 申请号： | 201820744925.0 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN208196836U | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 魏岩年 | 申请（专利权）人： | 北京锐洁机器人科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/08 | 分类号： | B25J15/08;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 李芙蓉;孙进华 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器，包括执行器本体和执行器安装板，执行器本体与执行器安装板相固定连接；执行器本体内开设有末端执行器气道，执行器本体表面开设有吸附口和末端执行器气孔，吸附口和末端执行器气孔之间通过末端执行器气道相连通；还包括固定连接在执行器安装板上的换向阀，换向阀上设有真空气源进气接头、离子风气源进气接头和换向阀出气口；换向阀出气口与末端执行器气孔相连通；末端执行器吸附晶圆之前可对晶圆表面吹离子风，离子风可中和晶圆表面的静电电荷，使残留在晶圆表面的静电去除更彻底；向晶圆吹完离子风后可通过换向阀自动切换气源，将晶圆吸附在吸附口上，不需要翻转晶圆或末端执行器。 | ||
| 搜索关键词： | 末端执行器 晶圆 换向阀 晶圆表面 安装板 离子风 吸附口 进气接头 出气口 除静电 气道 吸附 搬运 换气 本实用新型 表面开设 静电电荷 静电去除 真空气源 翻转 内开 离子 残留 中和 | ||
【主权项】：
1.一种具有除静电功能的晶圆搬运末端执行器，包括执行器本体(1)和执行器安装板(2)，执行器本体(1)与执行器安装板(2)相固定连接；执行器本体(1)内开设有末端执行器气道(12)，执行器本体(1)表面开设有吸附口(13)和末端执行器气孔(11)，吸附口(13)和末端执行器气孔(11)之间通过末端执行器气道(12)相连通；其特征是：还包括固定连接在执行器安装板(2)上的换向阀，换向阀上设有真空气源进气接头(51)、离子风气源进气接头(52)和换向阀出气口(53)；换向阀出气口(53)与末端执行器气孔(11)相连通。
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