[实用新型]一种工作台及背面对准装置

摘要

本实用新型属于集成电路制造技术领域，具体公开了一种工作台及背面对准装置。工作台包括水平基座、气足、吸盘和第一导气组件；水平基座上开设有贯穿水平基座上表面的透光孔；气足设置在水平基座上，且能相对水平基座在水平面上移动，气足上间隔开设有多个第一通光孔，当气足在水平基座上移动时，多个第一通光孔能分别与透光孔导通；吸盘设置在气足上方，能相对气足进行三个自由度上的转动及沿垂直方向平移，吸盘对应于第一通光孔的位置开设有第二通光孔；第一导气组件，吸盘上表面设置有用于吸附基底的第一吸附气道，第一导气组件一端与气足连通，另一端与第一吸附气道连通。本实用新型提供的工作台及背面对准装置，结构简单，成本较低。

主权项

1.一种工作台，其特征在于，包括：水平基座(1)，其上开设有贯穿所述水平基座(1)上表面的透光孔(11)，所述透光孔(11)内设置有第一透光片(12)；气足(2)，设置在所述水平基座(1)上，且能相对所述水平基座(1)在水平面上移动，所述气足(2)上间隔开设有多个第一通光孔(211)，当所述气足(2)在所述水平基座(1)上移动时，多个所述第一通光孔(211)能分别与所述透光孔(11)导通；吸盘(5)，设置在所述气足(2)上方，所述吸盘(5)能相对所述气足(2)进行三个自由度上的转动及能相对所述气足(2)沿垂直方向平移，所述吸盘(5)对应于所述第一通光孔(211)的位置开设有第二通光孔(51)，所述第一通光孔(211)与所述第二通光孔(51)连通，所述第二通光孔(51)内设置有第二透光片(52)，所述吸盘(5)上表面还设置有用于吸附基底(20)的第一吸附气道；第一导气组件(6)，所述第一导气组件(6)一端与所述气足(2)内部连通，另一端与所述第一吸附气道连通。