[实用新型]一种适用于聚集等离子体的环形挡板组装体

摘要

本实用新型公开了一种适用于聚集等离子体的环形挡板组装体，包括上部框架和下部框架，上部框架上端面固接有电源连接部，上部框架上端面环形阵列有若干气管，下部框架与上部框架通过框架连接部固接，下部框架的直径大于上部框架，并且，下部框架比上部框架大的区域上端面开设有若干贯通孔，贯通孔以放射状排列，下部框架内部开设有加热机构限位槽，加热机构限位槽内部固定设有加热机构，加热机构上方固接有加热机构固定罩。本实用新型中上部框架和下部框架由相同的材质形成，相互通过硬钎焊接合，构成坚固的结构，提供更易实现等离子封锁的环形隔板装配；本实用新型中贯通孔的大小可以根据蚀刻工艺所需要的大小进行装配垫圈进行调节，适应性强。

主权项

1.一种适用于聚集等离子体的环形挡板组装体，包括上部框架（1）和下部框架（2），其特征在于:所述上部框架（1）为开口圆环形，所述上部框架（1）上端面固定连接有电源连接部（8），所述上部框架（1）上端面环形阵列有若干气管（9），所述下部框架（2）与上部框架（1）同轴设置，所述下部框架（2）与上部框架（1）通过框架连接部（5）固定连接，所述下部框架（2）的直径大于上部框架（1），并且，所述下部框架（2）比上部框架（1）大的区域上端面开设有若干贯通孔（7），所述贯通孔（7）以放射状排列，所述下部框架（2）内部开设有加热机构限位槽（6），所述加热机构限位槽（6）内部固定设有加热机构（3），所述加热机构（3）上方固定连接有加热机构固定罩（4），所述加热机构（3）包括加热线圈（14）、环形加热器（16）和供应部（15），所述环形加热器（16）为内部中空结构，所述加热线圈（14）设置在环形加热器（16）内部，所述供应部（15）一端与电源连接部（8）电性连接，所述供应部（15）另一端与加热线圈（14）固定连接。