[实用新型]一种掩膜板干燥装置以及制造系统有效
| 申请号： | 201820759590.X | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN208187034U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 尹志;孙朴 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | F26B11/00 | 分类号： | F26B11/00;F26B21/00;F26B25/00;F26B5/16 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及显示技术领域，公开了一种掩膜板干燥装置以及制造系统，该掩膜板干燥装置，包括:干燥室，干燥室具有用于放置待干燥掩膜板的放置空间；设于放置空间内以对待干燥掩膜板相对的两侧表面进行吹气干燥的吹气装置；设于放置空间内、且位于待干燥掩膜板两侧的低温液化装置，低温液化装置用于将悬浮于待干燥掩膜板两侧空间内的汽体液化，以形成对待干燥掩膜板的辅助干燥。该掩膜板干燥装置采用吹气装置对待干燥掩膜板表面的液体进行初步干燥；并采用低温液化装置将悬浮于干燥室内的气体液化，以避免干燥室空气内悬浮的水汽二次附着在待干燥掩膜板上，形成对待干燥掩膜板的辅助干燥，利于提升掩膜板干燥后表面的清洁程度并提升产品品质。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 干燥装置 待干燥 低温液化装置 放置空间 干燥室 悬浮 吹气装置 辅助干燥 制造系统 本实用新型 产品品质 初步干燥 气体液化 水汽 后表面 体液 吹气 附着 室内 清洁 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板干燥装置，其特征在于，包括:干燥室，所述干燥室具有用于放置待干燥掩膜板的放置空间；设于所述放置空间内以对待干燥掩膜板相对的两侧表面进行吹气干燥的吹气装置；设于所述放置空间内、且位于待干燥掩膜板两侧的低温液化装置，所述低温液化装置用于将悬浮于所述待干燥掩膜板两侧空间内的汽体液化，以形成对所述待干燥掩膜板的辅助干燥。
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