[实用新型]一种单晶炉及石英多次加料装置

摘要

一种单晶炉及石英多次加料装置，包括上炉体，隔离阀，下炉体，坩埚，石英加料装置，所述石英加料装置包括连接轴，钼杆，压板一，压板二，筒体，外筒体，支撑环，锥形筒底；所述的压板一放置在压板二上；所述的压板二放置在筒体上；所述的连接轴与钼杆一端通过螺纹连接，下端通过螺纹拧紧固定在锥形筒底内；所述的外筒体包裹筒体，并与筒体固定在一起；所述支撑环固定在外筒体上。该装置可以实现单晶炉内的多晶硅料的多次加料，能一次性拉出所需长度的单晶硅棒料，同时加料时无卡料现象，也避免了高温时单晶棒品质受污染的生产事故。

主权项

1.一种单晶炉及石英多次加料装置，包括上炉体，隔离阀，下炉体，坩埚，石英加料装置；所述上炉体与隔离阀上端固定在一起，隔离阀下端与下炉体固定在一起，所述坩埚固定在下炉体内，所述石英加料装置穿过上炉体和隔离阀并深入到下炉体内，其特征在于：所述石英加料装置包括连接轴，钼杆，压板一，压板二，筒体，外筒，支撑环，锥形筒底；所述的压板一放置在压板二上；所述的压板二放置在筒体上；所述的连接轴与钼杆一端通过螺纹连接；所述的钼杆穿过压板一、压板二、筒体、和锥形筒底，下端通过螺纹拧紧固定在锥形筒底内；所述的外筒体包裹筒体，并与筒体固定在一起；所述支撑环固定在外筒体上。