[实用新型]喷涂光阻的系统有效
| 申请号： | 201820793530.X | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN208494635U | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 李伟;许哲维;颜书杰;林金锡 | 申请（专利权）人： | 福建省福联集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B05B9/04 | 分类号： | B05B9/04;B05B12/02;B05B12/08;B05B15/40;B05B15/58 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址： | 351117 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种喷涂光阻的系统，包括控制模块、回吸装置、泵装置、存储装置、调压装置；所述控制模块与回吸装置、泵装置、存储装置连接，所述回吸装置与喷涂喷口连接，所述泵装置与回吸装置连接，泵装置还与存储装置连接，所述存储装置用于连接光阻瓶出料端，所述调压装置用于连接光阻瓶加压端，用于向光阻瓶中泵送气体。节省制程与研发试验使用消耗的光阻，提高试验效率节省人力资源，提高安全性能。 | ||
| 搜索关键词： | 回吸装置 泵装置 光阻瓶 光阻 喷涂 存储装置连接 存储装置 调压装置 控制模块 安全性能 人力资源 试验效率 研发试验 出料端 泵送 喷口 制程 加压 消耗 统一 | ||
【主权项】：
1.一种喷涂光阻的系统，其特征在于，包括控制模块、回吸装置、泵装置、存储装置、调压装置；所述控制模块与回吸装置、泵装置、存储装置连接，所述回吸装置与喷涂喷口连接，所述泵装置与回吸装置连接，泵装置还与存储装置连接，所述存储装置用于连接光阻瓶出料端，所述调压装置用于连接光阻瓶加压端，用于向光阻瓶中泵送气体；所述控制模块用于发出电信号，控制回吸装置的出料与回吸，还用于发出电信号，控制泵装置从存储装置中抽取光阻。
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